
青島前哨益晶科技有限公司
聯(lián)系人:李經(jīng)理
聯(lián)系電話:15866876232
地址:青島市高新區(qū)和源路216號
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產(chǎn)品類型 |
ZHLM-X150-Y150 |
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軸 |
X/上軸 |
Y/下軸 |
最大行程 |
150 mm |
150 mm |
分辨率 |
1Vpp |
1 Vpp |
定位精度 |
2μm |
2μm |
重復(fù)精度 |
±0.5μm(3δ) |
±0.5μm(3δ) |
直線度 |
5μm(可定制,最高達(dá)2μm) |
5μm(可定制,最高達(dá)2μm) |
平面度 |
5μm(可定制,最高達(dá)2μm) |
5μm(可定制,最高達(dá)2μm) |
最大速度 |
500 mm/s |
500 mm/s |
最大加速度 |
15000m/s2 |
15000m/s2 |
最大負(fù)載 |
5 kg |
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外形尺寸 |
300x300x107mm |
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質(zhì)量 |
24 kg |